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玻璃参数及性能
玻璃厚度
0.5mm~1.5mm
表面粗糙度
＜1nm
光透视比τvD65in%
92.00%
平均线性热膨胀系数n（静态测量)
9.4(0°C-300°C/10 -6 K -1 )
转变温度 Tg
536℃
1MHz下介电常数εr
7
折射率 n
1.5229
密度ρ(40°C/h下退火)
2.56 g/cm3
可供晶圆尺寸
2"方片、6"、8"圆片
损耗角正切tgδ/介质损耗
2.6×10 -3 （1Mhz）
5.9×10 -3 （1Ghz）
8.4×10 -3 （5Ghz）
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