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研磨抛光

研磨抛光.png

玻璃双抛以及敷铜玻璃基板的减薄抛光

基板厚度100~1000μm,尺寸2~6inch

表面粗糙度≤10nm

TTV10μm

翘曲度随着铜层被去除,应力被释放,翘曲得到改善,整个片子翘曲≤20μm

抛光完成之后铜柱表面与玻璃表面台阶差≤0.5μm。






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